本項(xiàng)目為研磨廢水回用處理,該工藝是使用純水加少量自來(lái)水沖洗晶圓,因此排放廢水中僅含有極細(xì)小的硅粉和少量的表面活性劑等,除此之外并無(wú)其他污染物質(zhì),這股廢水具有極高的回收使用價(jià)值,經(jīng)管式膜工藝過(guò)濾掉水中硅粉后,產(chǎn)水再次送往反滲透純水系統(tǒng),本項(xiàng)目于2021年由知名環(huán)保公司——四川漢深環(huán)境工程有限公司承建,并于2021年11月正式投運(yùn)。