此為研磨廢水回用項(xiàng)目,芯片在減薄和劃片過(guò)程中會(huì)用來(lái)超純水進(jìn)行沖洗,沖洗后的水含有一些細(xì)小的懸浮物;這種廢水電導(dǎo)率低、污染物種類(lèi)單一、回收價(jià)值高;本項(xiàng)目通過(guò)管式膜過(guò)濾,把懸浮物攔截在膜濃水側(cè),產(chǎn)水流向純水系統(tǒng)。